一(yi)、PVD涂層(ceng)制備過程中的常見外表(biao)缺點
1、大液滴
是PVD涂層(ceng)制(zhi)備過(guo)程(cheng)中，高(gao)能離子轟擊靶材獲得高(gao)堆積功(gong)率工況下的典型(xing)缺點，一般顆粒(li)的三維尺(chi)度比較(jiao)均勻，大于1.5um，是嚴重(zhong)影(ying)響刀具加工精(jing)度的涂層(ceng)缺點，對(dui)刀具的重(zhong)復定位精(jing)度和加工件(jian)的外表(biao)質(zhi)量有影(ying)響。
2、結(jie)瘤與片狀凸出(chu)
是(shi)(shi)由(you)于真空(kong)室內的顆(ke)粒或(huo)者基體(ti)外表(biao)的顆(ke)粒在涂(tu)層(ceng)堆(dui)積曾經(jing)附著(zhu)在基體(ti)外表(biao)，跟著(zhu)堆(dui)積存(cun)在于涂(tu)層(ceng)當中，往(wang)往(wang)是(shi)(shi)較為(wei)松(song)軟的涂(tu)層(ceng)缺點(dian)(dian)，缺點(dian)(dian)的面積尺度往(wang)往(wang)大大的大于高度，在運用中易于剝落。
3、空泛或盤形坑
PVD涂層中存在與涂層的結合不(bu)牢的外來(lai)顆粒在高(gao)應力效(xiao)果下進行自發掉(diao)落(luo)，構成空(kong)泛缺(que)(que)點；基體之間存在污染，在真空(kong)室冷卻(que)時由(you)于熱應力效(xiao)果而掉(diao)落(luo)構成盤形坑或露出基體缺(que)(que)點。
4、針(zhen)孔或氣泡
當基(ji)體(ti)(ti)外(wai)(wai)表(biao)存在(zai)(zai)狹(xia)窄的凹坑時，涂(tu)層堆積(ji)過(guo)(guo)(guo)程中(zhong)在(zai)(zai)凹坑邊優先生長，逐漸構成涂(tu)層針(zhen)孔缺(que)(que)點(dian)(dian)，而進行外(wai)(wai)表(biao)拋光處(chu)理時，這(zhe)種(zhong)缺(que)(que)點(dian)(dian)外(wai)(wai)表(biao)一層薄薄的涂(tu)層被磨掉，露出出來。氣泡是(shi)100-400nm微顆粒，真空室內(nei)構成片狀，當他們穿過(guo)(guo)(guo)等(deng)離(li)子體(ti)(ti)時能夠得到電荷，這(zhe)種(zhong)離(li)子能夠到達(da)基(ji)體(ti)(ti)外(wai)(wai)表(biao)，并且在(zai)(zai)電荷的效果下被固定在(zai)(zai)基(ji)體(ti)(ti)外(wai)(wai)表(biao)，堆積(ji)過(guo)(guo)(guo)程中(zhong)構成氣泡式(shi)缺(que)(que)點(dian)(dian)。
二、處理PVD涂(tu)層外(wai)表缺點(dian)的(de)常(chang)用辦法
1、真空(kong)拋光處(chu)
真空腔體以及內(nei)部部件的(de)氣體放出量(liang)，和(he)材料的(de)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)積直接(jie)相關。固體外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)的(de)原子(zi)密(mi)度大(da)約為2×1019 m-2，考(kao)慮到外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)的(de)高低(di)不平，實踐(jian)的(de)固體外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)會吸附大(da)量(liang)的(de)氣體分(fen)子(zi)。通過拋光(guang)使外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)更加平坦(tan)，能(neng)夠大(da)大(da)減(jian)小外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)積，從而削減(jian)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)吸附的(de)氣體分(fen)子(zi)。拋光(guang)主要(yao)有(you)玻(bo)璃(li)丸噴砂和(he)電解(jie)拋光(guang)兩種手法。
2、超聲波清洗
超(chao)聲波(bo)清(qing)(qing)洗(xi)是(shi)使用超(chao)聲波(bo)在液體中的(de)空化效果(guo)、加速度(du)效果(guo)及直進流效果(guo)對液體和污物直接(jie)、直接(jie)的(de)效果(guo)，使污物層被渙散、乳化、剝(bo)離而到(dao)達(da)清(qing)(qing)洗(xi)意圖。向液體導入(ru)超(chao)聲波(bo)后(hou)，液體的(de)激(ji)烈運(yun)動(dong)使局部(bu)(bu)發生壓強(qiang)(qiang)差。壓強(qiang)(qiang)低的(de)部(bu)(bu)分會發生大量的(de)氣泡，當(dang)壓強(qiang)(qiang)從(cong)頭升高時，這些(xie)氣泡會在瞬間決(jue)裂(lie)，從(cong)而在液體中發生沖擊(ji)波(bo)。沖擊(ji)波(bo)會將固體外表的(de)油污剝(bo)離。超(chao)聲波(bo)清(qing)(qing)洗(xi)用的(de)液體一般采用酒精(jing)(jing)或丙酮(tong)。通過超(chao)聲波(bo)清(qing)(qing)洗(xi)的(de)部(bu)(bu)件放到(dao)大氣中后(hou)，酒精(jing)(jing)或丙酮(tong)會馬上蒸(zheng)騰，不會在部(bu)(bu)件外表留下(xia)水(shui)垢。
